Въведение в Plasma Cleaner

Плазмата, подобно на твърдите вещества, течностите и газовете, е състояние на материята, известно още като четвъртото състояние на материята. Плазмата се образува, когато към газ се приложи достатъчно енергия, за да се йонизира. „Активните“ компоненти на плазмата включват йони, електрони, реактивни радикали, възбудени нуклиди (метастабилни състояния) и фотони. Системите за плазмена повърхностна обработка използват свойствата на тези активни компоненти за обработка на повърхности на проби, постигайки цели като почистване, модификация и опепеляване на фоторезист.