Структура на машината за плазмено ецване

ICP оборудването се състои главно от четири части: пред{0}}вакуумна камера, ецваща камера, система за подаване на газ и вакуумна система.

(1) Пред-вакуумна камера

Функцията на пред{0}}вакуумната камера е да гарантира, че камерата за ецване се поддържа на зададено ниво на вакуум, не се влияе от външната среда (като прах, водна пара) и изолира опасните газове от чистата стая. Състои се от капак, манипулатор, предавателен механизъм, изолационна врата и др.

(2) Камера за ецване

Камерата за ецване е основната структура на ICP оборудването за ецване. Има пряко въздействие върху скоростта на ецване, вертикалността на ецването и грапавостта. Основните компоненти на камерата за ецване са: горен електрод, ICP радиочестотен блок, RF радиочестотен блок, долна електродна система, система за контрол на температурата и др.

(3) Газоснабдителна система

Системата за подаване на газ трябва да доставя различни ецващи газове към камерата за ецване и точно да контролира скоростта на газовия поток и потока през регулатора на налягането (PC) и регулатора на масовия поток (MFC). Газоснабдителната система се състои от газова бутилка, газопровод, система за управление, смесителен блок и др.

(4) Вакуумна система
Има две вакуумни системи, една за пред-вакуумната камера, а другата за камерата за ецване. Пред{2}}вакуумната камера се вакуумира от механична помпа. Едва когато нивото на вакуум в пред-вакуумната камера достигне зададената стойност, изолиращата врата може да се отвори за прехвърляне на пластината. Вакуумът в камерата за ецване се осигурява от механична помпа и молекулярна помпа. Газовете, генерирани от реакцията в камерата за ецване, също се евакуират от вакуумната система.